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等離子清洗機(jī)工作原理
等離子清洗機(jī)包括一個(gè)反應(yīng)腔室、電源和真空泵組。將樣品放置反應(yīng)腔室內(nèi)，真空泵開(kāi)始抽氣至一定的真空度，電源啟動(dòng)便產(chǎn)生等離子體，然后氣體通入到反應(yīng)腔室內(nèi)，使腔室中的等離子體變成反應(yīng)等離子體，這些等離子體與樣品表面發(fā)生反應(yīng)，生產(chǎn)可揮發(fā)的副產(chǎn)物，并由真空泵抽出。
等離子清洗技術(shù)利用了等離子體在低溫條件下能夠產(chǎn)生非平衡電子、反應(yīng)離子和自由基的特性。等離子體中的高能活性基團(tuán)轟擊表面，會(huì)造成濺射、熱蒸發(fā)或光致降解。等離子體特有的清洗過(guò)程主要是基于等離子體濺射和刻蝕所帶來(lái)的物理和化學(xué)變化。
等離子清洗機(jī)清洗原理如下：
等離子體與物體表面的作用
在等離子體中除了氣體分子，離子和電子外，還存在受到能量激勵(lì)的處于激發(fā)狀態(tài)的電中性的原子或原子團(tuán)（又稱(chēng)自由基），以及等離子體發(fā)射出的光線(xiàn)。其中的波長(zhǎng)短，能量搞得紫外光在等離子體與物質(zhì)表面相互作用有著重要的作用。下面對(duì)它們的作用分別進(jìn)行介紹。
原子團(tuán)等自由基與物體表面的反應(yīng)
由于這些自由基呈電中性，存在壽命較長(zhǎng)，而且在等離子體中的數(shù)量多于離子，因此自由基在等離子體中發(fā)揮著重要的作用。自由基的作用主要表現(xiàn)在化學(xué)反應(yīng)過(guò)程中的能量傳遞的“活化”作用，處于激發(fā)狀態(tài)的自由基具有較高的能量，因此易于與物體表面分子結(jié)合時(shí)會(huì)形成新的自由基，新形成的自由基同樣處于不穩(wěn)定的高能量狀態(tài)，很可能發(fā)生分解反應(yīng)，在變成較小分子的同時(shí)生成新的自由基，這種反應(yīng)過(guò)程還可能繼續(xù)進(jìn)行下去，最后分解成水，二氧化碳之類(lèi)的簡(jiǎn)單分子，在另一些情況下，自由基與物體表面分子結(jié)合的同時(shí)，回釋放出大量的結(jié)合能，這種能量又成為引發(fā)新的表面反應(yīng)的推動(dòng)力，從而引發(fā)物體表面上的物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而被去除。
電子與物體表面的作用
一方面對(duì)物體表面的撞擊作用，可促使吸附在物體表面的氣體分子發(fā)生分解或吸附，另一方面大量的電子撞擊有利引發(fā)化學(xué)反應(yīng)。由于電子質(zhì)量極小，因此比離子的移動(dòng)速度要快得多。當(dāng)進(jìn)行等離子體處理時(shí)，電子要比離子更早到達(dá)物體表面，并使表面帶有負(fù)電荷，這有利于引發(fā)進(jìn)一步反應(yīng)。
離子與物體表面的作用
通常指的是帶正電荷的陽(yáng)離子的作用，陽(yáng)離子有加速?zèng)_向帶負(fù)電荷的表面的傾向，此時(shí)物體表面獲得相當(dāng)大的動(dòng)能，足以撞擊去除掉表面上附著的顆粒性物質(zhì)，我們把這種現(xiàn)象稱(chēng)為濺射現(xiàn)象。而通過(guò)離子的沖擊作用可以極大促進(jìn)物體表面化學(xué)反應(yīng)發(fā)生的幾率。
紫外線(xiàn)與物體表面的反應(yīng)
紫外線(xiàn)具有很強(qiáng)的光能，（h）可使附著在物體表面的物質(zhì)的分子鍵發(fā)生斷裂而分解，而且紫外線(xiàn)具有很強(qiáng)的穿透能力，可透過(guò)物體的表層并深入達(dá)數(shù)微米而產(chǎn)生作用。
綜上所述，可知等離子清洗機(jī)是利用等離子體內(nèi)的各種具有高能量的物質(zhì)的活化作用，將吸附在物體表面的污垢徹底剝離去除。我司是中國(guó)最早一批專(zhuān)業(yè)從事真空及大氣低溫等離孑體(電漿)技術(shù)、射頻及微波等離子體技術(shù)研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售于一體的等離子清洗機(jī)廠家,目前產(chǎn)品廣泛服努于包裝、塑料制品、通訊、汽車(chē)、家電、光電、紡織、半導(dǎo)體及精密制造行業(yè)在表面涂裝、表面粘接、表面清潔方面尤為突岀。
